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中芯国际上海建12英寸晶圆厂:直奔7nm

2021-02-09 11:30:05 【东智精密】   来源: 快科技     阅读

克日,上海市宣布了2021年重大建设项目清单,中芯国际的12英寸芯片SN1项目入选,现在处于在建状态。

中芯国际的12英寸芯片SN1项目由中芯国际旗下的中芯南方卖力,总投资额90.59亿美元,其中生产装备购置和安装费就有73.30亿美元,计划月产能3.5万片晶圆。

这是中海内地第一条FinFET工艺生产线,也是中芯国际14nm及以下先进工艺研发和量产的主要承载平台,未来笼罩工艺节点可直达7nm。

中芯国际联席CEO梁孟松此前曾披露,中芯国际的28nm、14nm、12nm、N+1等手艺均已进入规模量产,7nm手艺开发已经完成,今年4月可以进入风险量产,5nm、3nm最要害也是最困难的8大项手艺也已经有序睁开,只等EUV极紫外光刻机到来,就可以进入周全开发阶段。

去年7月,中芯国际正式上岸科创板,刊行总股本为71.3642亿股,上市召募资金中40%用于12英寸芯片SN1项目,20%作为先进及成熟工艺研发项目的储蓄资金,40%作为增补流动资金。

中芯国际12英寸芯片SN1、SN2厂房建设项目位于上海浦东新区张江高科技园区,现在的主要建设内容包罗SN1生产厂房、CU8动力车间、SO8生产调理及研发楼三个大的单体修建物,以及一些配套设施。

中芯国际上海建12英寸晶圆厂:内地第一次FinFET、直奔7nm

作者:上方文Q泉源:快科技

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